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雷 射 微影
...微影技術,達到量產目的,在壓印過程中所使用之奈米模具扮演著關鍵角色。一般用來製作奈米模具的方式有許多種,如光學微影、電子束微影等技術,而其中雷射干涉微影技術 ...,本研究提出利用雷射干涉微影(LaserInterferenceLithography)進行NPSS之圖案定義,其中雷...
雷射干涉微影之光形監控系統的設計與開發
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由楊音光著作·2014—是故,本研究將找出造成曝光結果缺陷的真正原因,並設計一即時光形監測系統,來監控雷射干涉微影系統的光形,當光形因外界干擾而產生變化時,光形監測系統將發現並立即停止 ...
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